基板檢測中所進行的 Warp tracking即時補償功能是PARMI對技術挑戰性執著的獨家創新功能
有著下列二項檢測技術基礎:

壹, 可量測10mm內的基板彎曲.
貳, 可保障基板嚴重板彎部位的錫膏量測.

通常10~20 um畫數的光學相機其光學聚焦深度(DOF)侷限在1~2mm範圍,如被量測物脫離此範圍時所取得的影像會變得模糊不清,導致影響量測值的誤差惡化, 此外 Projection光學系( Laser , Moire white light fringe)的光源易擴散造成量測嚴重的影響.