기판 검사 중 실 시간으로 이루어 지는 Warp tracking 은 파미의 독창적이고 도전적인 기술의 집약으로, 다음 두 가지 뛰어난 측정 능력의 기반이 됩니다.

첫째, 10mm 범위 안의 기판 warp 의 측정을 가능하게 하고,
둘째, 휨이 심한 지역의 솔더 페이스트 측정의 정확도를 보장합니다.

일반적으로 10~20 um 의 pixel resolution 을 갖는 카메라 영상 광학계의 초점 범위(Depth of focus) 는 1~2 mm 범위로 한정됩니다. 대상체가 이 범위를 넘어서면 영상의 퍼짐이 심하게 되는데 결국 측정 정확도가 현저히 나빠집니다. 아울러, Projection 광학계(레이저, Moire white light fringe) 의 light 또한 퍼짐이 심하게 되어 측정에 심각한 영향을 미칩니다.